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国产传媒 实验室基础条件建设采购公告(二次)
发布日期:2026-08-05 来源: 浏览次数:
项目背景:国产传媒 已采购等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、刻蚀机及真空蒸发镀膜机,已完成设备安装所需超净间的改造。因设备运行需要Ar、O2、N2、SF6、CF4、He、C4F8、CHF3、N2O、SiH4及NH3等特殊气体,现采购气路安装所需原材料,并进行管道连接,安装调试,核心指标测试,以满足设备所需上述各气体的正常供气。为保证特殊气体管道的安全性和正常使用,输气管道焊接须采用全自动封闭式轨道氩弧焊。冬天室外温度较低,NH3和C4F8管道需要配套伴热保温。气路安装完需要进行保压测试、氦质谱检漏、管道内颗粒检测。
项目基本信息
项目内容:国产传媒 特殊气体气路改造,具体包括:
敷设高纯气体输送管路,满足设备布局及运行要求,涉及的施工图纸和材料内容见附件(含不锈钢管、阀门、接头、套管、管夹、减压器等);
完成管路耐压测试、检漏及整体调试,确保气路系统稳定可靠;
配合设备安装方进行最终联调,满足教学科研实验要求;
售后服务期24个月,服务期内每季度无偿提供一次上门维保,涵盖气瓶更换、双套管系统维护及管路系统常规巡检检漏。
项目名称:国产传媒 实验室基础条件建设
项目地点:宁夏银川市国产传媒 怀远校区
项目建设时间:2026年8月17日-8月30日
二、项目预算
采购预算金额:人民币贰拾万元整(¥200,000.00);供应商报价超出预算的,视为无效报价。
三、投标人资格要求
1.具有独立法人资格,具有有效的营业执照,提供近三年至少完成过两项类似实验室气路改造或洁净室配套工程业绩(附合同关键页及验收证明复印件)。
2.具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度(提供2025年度财务报表或银行资信证明)。
3.有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录(提供近半年内任意一个月的缴纳凭证)。
4.参加本次采购活动前三年内,在经营活动中没有重大违法记录(提供书面声明)。
5.供应商未被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单及中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)政府采购严重违法失信行为记录名单。本项目不接受联合体投标。
四、项目技术要求
1. 伴热保温系统:C₄F₈和NH₃气体管路应设置伴热及保温系统。伴热带紧贴管道外壁螺旋均匀缠绕,严禁伴热带相互重叠交叉;伴热、保温及外护材料不掉屑、不产生粉尘、无有机挥发析出,适配半导体洁净厂房环境使用。伴热系统控温区间:25℃~100℃,控温精度 ±1℃,保证管道内介质全程维持气态,避免介质冷凝。
2. 焊接技术,特种气体管道对接焊接采用全自动封闭式轨道自熔氩弧焊(无填充焊丝),焊接工艺、焊缝检验与验收应同时满足 GB50646-2020《特种气体系统工程技术标准》、SEMI F78、SEMI F81 超高纯洁净焊接相关要求;空间受限、无法布置封闭式焊头的位置,须提前编制专项方案并经建设单位书面确认后方可施工。
3. 保压测试:测试点位31处(见附件图纸)。试验介质采用99.9999%高纯氮气。试验压力取管路设计压力1.15倍,缓慢升压至试验压力后保压24h。试验期间同步记录环境温度、大气压,经温压修正后系统压降不大于初始压力1% 为合格。试验用于检验管路所有接头、焊缝整体密封性能,排查管路泄漏隐患。
4. 氦质谱检漏:检漏点位共计21处(见附件图纸)。采用氦质谱吸枪外部喷吹法对全部焊缝、接头位置实施检漏,杜绝特种气体外泄以及外界空气渗入管路,避免污染工艺介质、影响设备稳定性;单个接头、单条焊缝泄漏率≤1×10⁻⁹ mbar・L/s,满足SEMI及GB50646洁净特气管路检漏要求。
5.管道颗粒物检测:避免固体颗粒物混入工艺介质、造成设备损伤与工艺不良,满足超高纯特气管路洁净标准。颗粒物检测点位合计21处(见附件图纸);测试前采用纯度99.9999% 高纯氮气对管路充分吹扫。采用激光粒子计数器检测≥0.1μm固体颗粒,每个点位连续进行3组独立采样测试,单次采样时长3min;三组检测颗粒计数均≤[email protected]μm/scf即为合格,检测验收满足GB50646及SEMI 洁净管路相关要求。
七、报价要求
报价构成:报价应为含税全包价,包含货物成本、包装、运输、保险、安装、调试、验收、售后服务及发票等所有费用。
报价方式:供应商需按采购清单逐项填写单价及总价,并汇总总报价。
八、报价文件组成
报价函(格式自拟,须加盖公章);报价一览表及分项报价清单(按附件格式填写);营业执照副本复印件(加盖公章);法定代表人身份证明或授权委托书;产品质量承诺及售后服务方案(简要说明供货周期、退换货响应等)。
九、投标文件递交
电子标书递交截止时间:2026年8月9日17:00(北京时间),逾期不予受理。同时递交纸质标书,密封邮寄至宁夏银川市西夏区文萃北街217号国产传媒 怀远校区国产传媒 ,刘会龙,电话:13208719490。
电子版发送至邮箱:[email protected] ,邮件主题格式:“项目名称+供应商名称+报价文件”。纸质文件需密封包装,封口处加盖单位公章,封面注明项目名称、供应商名称、联系人及电话。
十、成交原则
学院拟定于2026年8月12日对项目进行评审,在满足采购产品规格和参数、产品质量合格和提供及时售后服务等前提下,按总报价最低的原则确定成交供应商。若最低报价相同,则综合考虑供货周期、售后服务等因素。采购结果在国产传媒 官方网站上公示,公示期结束后,成交供应商须在结果公告后5日内签订供货合同,并按合同约定时间交付货物。
发布公告媒介 本招标公告在国产传媒 官方网站上发布。
采购单位:国产传媒
联系人:刘会龙
联系电话:13208719490
地址:宁夏银川市西夏区文萃北街217号国产传媒 怀远校区国产传媒
邮箱:[email protected]
国产传媒
2026年8月5日
联系电话: 0951-2061004 邮箱:[email protected]
地址:宁夏银川市西夏区文萃北街217号
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